非平衡磁控溅射类金刚石碳膜的性能
来源期刊：材料研究学报2004年第2期
论文作者：柳翠 张成武 李新 李国卿
关键词：无机非金属材料; 类金刚石碳膜; 非平衡磁控溅射; 性能;
摘 要：用非平衡磁控溅射的方法在室温下制备了光滑、均匀、致密的类金刚石(DLC)薄膜,分析和研究了DLC膜的形貌、结构和摩擦特性.结果表明,靶工作电流对DLC膜的沉积有重要的影响.随着工作电流的增大,薄膜的沉积速率增大,薄膜中sp3键的含量增加.薄膜的摩擦系数随着工作电流的增加略有增大,在摩擦的初始阶段,摩擦系数较高,随着摩擦循环次数的增加,摩擦系数逐渐减小,并逐渐趋于稳定.
柳翠1，张成武1，李新1，李国卿1
(1.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室)
摘要:用非平衡磁控溅射的方法在室温下制备了光滑、均匀、致密的类金刚石(DLC)薄膜,分析和研究了DLC膜的形貌、结构和摩擦特性.结果表明,靶工作电流对DLC膜的沉积有重要的影响.随着工作电流的增大,薄膜的沉积速率增大,薄膜中sp3键的含量增加.薄膜的摩擦系数随着工作电流的增加略有增大,在摩擦的初始阶段,摩擦系数较高,随着摩擦循环次数的增加,摩擦系数逐渐减小,并逐渐趋于稳定.
关键词:无机非金属材料; 类金刚石碳膜; 非平衡磁控溅射; 性能;
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