钛合金人工心脏瓣膜瓣环表面TiN/Ti多层膜的制备与性能

来源期刊：机械工程材料2010年第7期

论文作者：何婵 冷永祥 孙鸿 黄楠

文章页码：38 - 41

关键词：人工心脏瓣膜;TiN/Ti多层膜;非平衡磁控溅射;力学性能;

摘    要：为了提高钛合金人工心脏瓣膜瓣环TiO₂表面改性层的性能,利用非平衡磁控溅射技术在人工心脏瓣膜瓣环表面制备了具有不同调制周期（44,70,100 nm）的TiN/Ti多层膜过渡层;采用XRD、SEM、显微硬度计及摩擦磨损试验机研究了薄膜的物相组成、横截面形貌、硬度和耐磨性。结果表明:TiN/Ti多层膜由Ti和TiN相组成,当调制周期为100 nm时,TiN/Ti薄膜呈现明显的多层结构,具有高硬度和良好耐磨性;人工心脏瓣膜瓣环表面各个位置TiN/Ti多层膜的相结构及性能相同,可望应用于人工心脏瓣膜瓣环的TiO₂表面改性层的过渡层。