无氟化学溶液法制备YBa₂Cu₃O_z超导薄膜

王文涛¹，王振¹，蒲明华¹，张欣¹，雷鸣¹，王明江¹，赵勇^1,2

1. 西南交通大学超导与新能源研究开发中心材料先进科学技术教育部重点实验室2. 新南威尔士大学材料科学与工程学院

摘 要：采用自主开发的无氟化学溶液沉积法在（00l）LaAlO₃单晶片上制备了YBa₂Cu₃O_z（YBCO）超导薄膜。研究了高温热处理过程中不同成相气氛和渗氧温度对YBCO薄膜结构和性能的影响。采用X射线衍射仪对薄膜进行了织构分析,通过扫描电镜和原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌。采用磁性能测试系统测量了薄膜的超导转变温度和磁化曲线。实验结果表明,在干燥的热处理气氛和400℃渗氧制备的YBCO薄膜具有更加优异的性能。

关键词：YBCO薄膜;热处理;超导转变温度;临界电流密度;