TFT器件过孔腐蚀机理研究及改善
来源期刊：中国金属通报2019年第12期
论文作者：董康旭 孟盼盼 陈甫 邢宝宝
文章页码：246 - 250
关键词：过孔腐蚀;TFT器件;原电池腐蚀反应模型;电势差;
摘 要：通过原电池反应模型模拟,研究了TFT器件过孔腐蚀的机理。从材料的选择、过孔的形貌、金属间界面及表面防护四个方面,提出了提升过孔抗腐蚀能力的方向和详细措施。减少金属间的电势差和去除界面电解质溶液残留,是提升TFT器件过孔抗腐蚀能力的主要方向。
董康旭，孟盼盼，陈甫，邢宝宝
合肥京东方光电科技有限公司
摘 要：通过原电池反应模型模拟,研究了TFT器件过孔腐蚀的机理。从材料的选择、过孔的形貌、金属间界面及表面防护四个方面,提出了提升过孔抗腐蚀能力的方向和详细措施。减少金属间的电势差和去除界面电解质溶液残留,是提升TFT器件过孔抗腐蚀能力的主要方向。
关键词：过孔腐蚀;TFT器件;原电池腐蚀反应模型;电势差;
