卢瑟福背散射分析
来源期刊：理化检验物理分册2002年第1期
论文作者：赵国庆
关键词：卢瑟福背散射; 表面层分析; 薄膜分析;
摘 要：对卢瑟福背散射分析的基本原理作了概要的介绍.论述了背散射分析的最佳实验条件、质量分辨率和分析灵敏度.列举了卢瑟福背散射分析在材料表面层和薄膜研究中的应用例子.
赵国庆1
(1.复旦大学现代物理研究所,上海,200433)
摘要:对卢瑟福背散射分析的基本原理作了概要的介绍.论述了背散射分析的最佳实验条件、质量分辨率和分析灵敏度.列举了卢瑟福背散射分析在材料表面层和薄膜研究中的应用例子.
关键词:卢瑟福背散射; 表面层分析; 薄膜分析;
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