新型界面结合强度检测技术理论及实验研究
来源期刊：材料科学与工艺2011年第5期
论文作者：于斌斌 袁军堂 孙淮阳 吴笑天
文章页码：72 - 78
关键词：脉冲激光;结合强度;硬质薄膜;反射信号;
摘 要：膜/基界面结合强度的测量与评价已成为硬质薄膜技术发展与应用的关键问题.提出了1种新的测量方法———激光冲击检测技术,分析了在脉冲激光作用下,薄膜脱落的机理与数学模型.以测定TiN薄膜界面结合强度为例,用650～1000 mJ的脉冲激光对膜层进行加载,并采用体式显微镜和扫描电镜对薄膜的脱落情况进行表面观察,根据反射信号检测法判别TiN薄膜的失效阈值.实验数据分析表明,测得膜/基界面的结合强度为4.954 GW/cm2,验证了该技术的可行性.
于斌斌1，袁军堂1，孙淮阳2，吴笑天1
1. 南京理工大学机械工程学院2. 江苏大学机械工程学院
摘 要：膜/基界面结合强度的测量与评价已成为硬质薄膜技术发展与应用的关键问题.提出了1种新的测量方法———激光冲击检测技术,分析了在脉冲激光作用下,薄膜脱落的机理与数学模型.以测定TiN薄膜界面结合强度为例,用650～1000 mJ的脉冲激光对膜层进行加载,并采用体式显微镜和扫描电镜对薄膜的脱落情况进行表面观察,根据反射信号检测法判别TiN薄膜的失效阈值.实验数据分析表明,测得膜/基界面的结合强度为4.954 GW/cm2,验证了该技术的可行性.
关键词：脉冲激光;结合强度;硬质薄膜;反射信号;
