基体温度对金刚石厚膜沉积质量的影响

刘兴文¹，黄树涛¹，许立福¹，于骏一¹

(1.沈阳工业学院,机械工程分院,沈阳,110168;
2.吉林大学,机械科学与工程学院,长春,130025)

摘要:为探讨燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的可能及其沉积速率,在反应气体流量比O2/C2H2=0.97～1范围内,研究了基体温度对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响.结果表明,基体温度在610～730℃范围内可沉积出均匀、致密、结晶形态优良的金刚石厚膜;金刚石厚膜沉积速率随基体温度的下降而下降,基体温度约为730℃时,可以约50μm/h的较高速率沉积出淡黄色透明状高质量金刚石厚膜.当基体温度在820℃左右的高温时,金刚石厚膜不均匀,晶粒间存在较大间隙,且在金刚石厚膜生长过程中,存在较多的二次成核.

关键词:化学气相沉积; 燃焰法; 金刚石厚膜;

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