强激光负载Sol-Gel减反膜和防潮膜
来源期刊：稀有金属材料与工程2004年增刊第1期
论文作者：乐月琴 李海元 严海华 唐永兴 刘瑞军 贾巧英
关键词：强激光负载; 溶胶-凝胶; 减反膜; 防潮膜;
摘 要：对不同比例的Si(OC2H5)4:H2O:C2H5OH:NH3:PEG配方进行优化,在一定的工艺条件下陈化放置,最后得到半透明的悬胶体涂膜溶液.采用浸渍提拉法涂膜.研究了涂膜悬胶体粘度变化的规律性,TEM测量了悬胶体内部SiO2颗粒的尺寸大小以及颗粒之间的聚合状态,研究开发了高激光破坏阈值减反膜和防潮膜.涂制多孔SiO2减反膜后K9和石英玻璃,单波长表面反射率减少约7.5%,激光破坏阈值＞15 J/cm2,1 053 nm/1ns;涂制防潮膜减反膜的KDP晶体,双波长表面反射率减少6.5%～7.5%.膜层表面均匀性优良.
乐月琴1，李海元1，严海华1，唐永兴1，刘瑞军1，贾巧英1
(1.上海光学精密机械研究所,高功率激光物理国家实验室,上海,201800)
摘要:对不同比例的Si(OC2H5)4:H2O:C2H5OH:NH3:PEG配方进行优化,在一定的工艺条件下陈化放置,最后得到半透明的悬胶体涂膜溶液.采用浸渍提拉法涂膜.研究了涂膜悬胶体粘度变化的规律性,TEM测量了悬胶体内部SiO2颗粒的尺寸大小以及颗粒之间的聚合状态,研究开发了高激光破坏阈值减反膜和防潮膜.涂制多孔SiO2减反膜后K9和石英玻璃,单波长表面反射率减少约7.5%,激光破坏阈值＞15 J/cm2,1 053 nm/1ns;涂制防潮膜减反膜的KDP晶体,双波长表面反射率减少6.5%～7.5%.膜层表面均匀性优良.
关键词:强激光负载; 溶胶-凝胶; 减反膜; 防潮膜;
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