原子层沉积技术在新型太阳能电池中的应用

胡航^1,2,3，董兵海^1,2,3，万丽^1,2,3，孔梦琴^1,2,3，赵丽^1,2,3，王二静^1,2,3，王世敏^1,2,3

1. 湖北大学有机化工新材料湖北省协同创新中心2. 湖北大学功能材料绿色制备与应用教育部重点实验室3. 湖北大学材料科学与工程学院

摘 要：原子层沉积技术（ALD）是一项正处于发展之中、在许多领域具有巨大应用前景的新型材料制备技术,该技术在纳米结构和纳米复合结构的制备方面显示出独特的优势,在新型薄膜太阳能电池领域呈现出巨大的发展潜力和前景。首先概述了ALD技术的工作原理,简要介绍了近几年ALD技术在硅基太阳能电池和铜铟镓硒薄膜电池（CIGS）中的应用,然后重点综述了原子层沉积纳米功能薄膜在染料敏化太阳能电池（DSSCs）和有机-无机杂化钙钛矿太阳能电池（PSCs）为代表的新型薄膜太阳能电池中的应用。最后,总结了原子层沉积功能薄膜的特点和优势,展望了ALD在新能源材料与器件领域的应用前景和发展趋势。

关键词：原子层沉积;纳米功能薄膜;染料敏化太阳能电池;钙钛矿太阳能电池;