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多弧离子镀TiN涂层的N2/Ar流量参数研究

来源期刊:粉末冶金工业2016年第3期

论文作者:陈昌浩 金永中 陈建 蔡瑜 余学金 龙国俊

文章页码:44 - 48

关键词:多弧离子镀;TiN涂层;N2/Ar流量比;大颗粒;力学性能;

摘    要:利用多弧离子镀在硬质合金基体上制备TiN涂层,研究了N2/Ar流量比对TiN涂层表面大颗粒分布与力学性能的影响。通过扫描电镜观察TiN涂层的表面形貌,并利用Image J图像处理软件对大颗粒的数量和尺寸进行了分析,通过自动划痕仪和纳米压痕仪对涂层的力学性能进行表征。结果表明:随着N2流量的增加,涂层表面沉积颗粒的最大直径和平均直径逐渐减小,涂层的附着力整体呈现增加趋势,显微硬度则先增大后减小。

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多弧离子镀TiN涂层的N2/Ar流量参数研究

陈昌浩,金永中,陈建,蔡瑜,余学金,龙国俊

四川理工学院材料科学与工程学院

摘 要:利用多弧离子镀在硬质合金基体上制备TiN涂层,研究了N2/Ar流量比对TiN涂层表面大颗粒分布与力学性能的影响。通过扫描电镜观察TiN涂层的表面形貌,并利用Image J图像处理软件对大颗粒的数量和尺寸进行了分析,通过自动划痕仪和纳米压痕仪对涂层的力学性能进行表征。结果表明:随着N2流量的增加,涂层表面沉积颗粒的最大直径和平均直径逐渐减小,涂层的附着力整体呈现增加趋势,显微硬度则先增大后减小。

关键词:多弧离子镀;TiN涂层;N2/Ar流量比;大颗粒;力学性能;

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