多弧离子镀TiN涂层的N₂/Ar流量参数研究

来源期刊：粉末冶金工业2016年第3期

论文作者：陈昌浩 金永中 陈建 蔡瑜 余学金 龙国俊

文章页码：44 - 48

关键词：多弧离子镀;TiN涂层;N2/Ar流量比;大颗粒;力学性能;

摘    要：利用多弧离子镀在硬质合金基体上制备TiN涂层,研究了N₂/Ar流量比对TiN涂层表面大颗粒分布与力学性能的影响。通过扫描电镜观察TiN涂层的表面形貌,并利用Image J图像处理软件对大颗粒的数量和尺寸进行了分析,通过自动划痕仪和纳米压痕仪对涂层的力学性能进行表征。结果表明:随着N2流量的增加,涂层表面沉积颗粒的最大直径和平均直径逐渐减小,涂层的附着力整体呈现增加趋势,显微硬度则先增大后减小。