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铁电薄膜移相器研究进展

来源期刊：材料导报2007年第11期

论文作者：余桉陈宏伟张瑞婷张继华杨传仁王波

关键词：移相器; 铁电薄膜; 相控阵天线; BST可变电容; BST薄膜;

摘要：铁电薄膜移相器响应速度快、成本低、功耗和体积小,是一种模拟移相器,非常适合应用于相控阵天线特别是共形阵天线.介绍了4种主要的铁电薄膜移相器的结构、原理、性能和特点,指出分布型和全通网络型铁电薄膜移相器具有良好的发展前景,并进一步总结了国内外研究现状和存在的问题,提出了今后的研究方向.

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余桉¹，陈宏伟¹，张瑞婷¹，张继华¹，杨传仁¹，王波¹

(1.电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054)

摘要:铁电薄膜移相器响应速度快、成本低、功耗和体积小,是一种模拟移相器,非常适合应用于相控阵天线特别是共形阵天线.介绍了4种主要的铁电薄膜移相器的结构、原理、性能和特点,指出分布型和全通网络型铁电薄膜移相器具有良好的发展前景,并进一步总结了国内外研究现状和存在的问题,提出了今后的研究方向.

关键词:移相器; 铁电薄膜; 相控阵天线; BST可变电容; BST薄膜;

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