阵列波导光栅薄膜的制备及性能
来源期刊：工程科学学报2003年第5期
论文作者：南铮 夏洋 于广华
文章页码：445 - 448
关键词：有机硅化合物;溶胶-凝胶法;阵列波导光栅;光波导;薄膜;
摘 要：以一种特定成分的有机硅为原料,采用溶胶-凝胶法,在硅基片上制备出用于光波导器件的薄膜.通过折射率和厚度测试及XPS成分测试验证了此薄膜具有较好的均匀性、厚度和光学特性,满足光波导器件的要求.分析了溶胶-凝胶法中常见的龟裂现象的原因以及采预防方法.利用这种薄膜结合微电子加工工艺制备出光波导器件阵列波导光栅.
南铮，夏洋，于广华
摘 要：以一种特定成分的有机硅为原料,采用溶胶-凝胶法,在硅基片上制备出用于光波导器件的薄膜.通过折射率和厚度测试及XPS成分测试验证了此薄膜具有较好的均匀性、厚度和光学特性,满足光波导器件的要求.分析了溶胶-凝胶法中常见的龟裂现象的原因以及采预防方法.利用这种薄膜结合微电子加工工艺制备出光波导器件阵列波导光栅.
关键词：有机硅化合物;溶胶-凝胶法;阵列波导光栅;光波导;薄膜;
