用AES研究离子溅射TiC薄膜
来源期刊：中国有色金属学报1993年第3期
论文作者：朱勇 戚震中
文章页码：35 - 37
关键词：TiC薄膜 AES 碳偏析 交互作用
摘 要：用AES研究了离子溅射TiC薄膜的成分分布及表面碳偏析。对升温过程中出现的表面碳偏析和游离态碳钛交互作用机理进行了分析,给出了偏析热力学的实验结果表达式。
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