基于神经网络的宏/微双驱动运动平台误差预测及补偿技术研究

来源期刊：机械设计与制造2019年第11期

论文作者：王明强 奚浩 刘志强 纪飞飞

文章页码：261 - 532

关键词：宏/微双驱动;定位精度;神经网络;误差预测;误差补偿;

摘    要：宏/微双驱动平台是一种用于微切削加工的高精度切削平台,其定位精度受多种因素影响。为提高宏/微双驱动定位运动平台的定位精度,提出基于BP神经网络进行宏/微双驱动运动平台定位误差预测的方法。测量运动平台的定位精度,从而建立BP神经网络误差预测模型,并运用该模型对宏/微双驱动运动平台进行定位误差预测试验,最终证明BP神经网络定位误差预测模型精度高、抗变换性能好,适用于对宏/微双驱动运动平台的定位误差进行误差预测及补偿,使得宏/微双驱动平台达到10nm级精度设计要求。