基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第2期
论文作者：石庚辰 李华
关键词：LIGA; 微机械零件; 公差;
摘 要：复杂微机械系统由多个微机械零件装配而成,与传统金属切削加工技术相同,微机械加工也存在公差,特别是在微机械零件之间存在装配关系时,合理给出零件之间的公差尤其重要.由于微机械加工技术不同于传统金属切削加工技术,其加工公差的确定与标注也不同于传统工艺.本文对基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题进行研究.文中分析了采用LIGA(准LIGA)工艺进行加工的过程中,零件存在加工误差的环节和原因、加工误差产生的规律,以及在特定加工条件下的误差范围,在此基础上,给出了微机械零件尺寸的确定方法.
石庚辰1，李华1
(1.北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室,北京,100081)
摘要:复杂微机械系统由多个微机械零件装配而成,与传统金属切削加工技术相同,微机械加工也存在公差,特别是在微机械零件之间存在装配关系时,合理给出零件之间的公差尤其重要.由于微机械加工技术不同于传统金属切削加工技术,其加工公差的确定与标注也不同于传统工艺.本文对基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题进行研究.文中分析了采用LIGA(准LIGA)工艺进行加工的过程中,零件存在加工误差的环节和原因、加工误差产生的规律,以及在特定加工条件下的误差范围,在此基础上,给出了微机械零件尺寸的确定方法.
关键词:LIGA; 微机械零件; 公差;
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