UV电泳光成像抗蚀剂的制备及性能

来源期刊：高分子材料科学与工程2011年第5期

论文作者：刘仁 顾辉旗 安丰磊 王春林 张胜文 刘晓亚

文章页码：156 - 159

关键词：电泳;涂料;紫外光;成像;抗蚀剂;

摘    要：合成了水可分散阳离子型丙烯酸酯光敏聚合物(UPDHES),以其为主体树脂制得了阴极光敏电泳涂料乳液,并以铜箔为阴极进行电泳成膜、闪蒸、曝光、显影成像。研究了电泳过程中电流密度的变化对涂膜的影响,并对电泳涂膜进行了扫描电镜表征;考察了光敏树脂双键含量对其光固化动力学及性能的影响;最后对光成像抗蚀剂的分辨率进行了测试。结果表明,以电泳技术制得的抗蚀膜层均匀致密,固化后对基材具有较强的附着力,固化膜的耐磨性及拉伸强度都随双键含量的增加而得到了提高,该抗蚀成像膜分辨率高,最小线宽达到15μm。