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真空热压技术制备EOS实验用LiH薄膜

来源期刊:稀有金属材料与工程2013年第2期

论文作者:谢军 邢丕峰 易泰民 赵利平 李朝阳 杨蒙生 郑凤成 张林

文章页码:424 - 428

关键词:氢化锂;薄膜;热压;状态方程;

摘    要:氢化锂(LiH)是重要的热核材料,其状态方程参数是惯性约束聚变研究的重要内容。本工作采用真空热压技术制备氢化锂薄膜,在真空度小于5.0×10-4Pa,温度450℃,升温速率10℃/min,采取分段加压、退火,获得了厚度小于100μm、厚度一致性约98%的氢化锂薄膜,表面粗糙度小于100nm,热压后密度增加,达到0.780g/cm3。X射线衍射分析结果表明:薄膜的主要成分为氢化锂,薄膜存在择优取向、内应力、晶粒细化等特征。

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真空热压技术制备EOS实验用LiH薄膜

谢军,邢丕峰,易泰民,赵利平,李朝阳,杨蒙生,郑凤成,张林

中国工程物理研究院

摘 要:氢化锂(LiH)是重要的热核材料,其状态方程参数是惯性约束聚变研究的重要内容。本工作采用真空热压技术制备氢化锂薄膜,在真空度小于5.0×10-4Pa,温度450℃,升温速率10℃/min,采取分段加压、退火,获得了厚度小于100μm、厚度一致性约98%的氢化锂薄膜,表面粗糙度小于100nm,热压后密度增加,达到0.780g/cm3。X射线衍射分析结果表明:薄膜的主要成分为氢化锂,薄膜存在择优取向、内应力、晶粒细化等特征。

关键词:氢化锂;薄膜;热压;状态方程;

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