简介概要

用于微机电系统的磁流体微泵的研究

来源期刊：功能材料与器件学报2006年第3期

论文作者：王瑞金楼少敏

关键词：微机电系统; 磁流体; 微泵; 旋转磁场;

摘要：利用外磁场及其运动控制微机电系统中的磁流体的运动,成功地设计了磁流体微泵,试验表明:磁流体微泵的输出压力最高达到1180 Pa,输出流量最大可达50μl/min,磁场转速和输出压力、输出流量的在低转速时几乎线性关系,但超过一定的转速,输出流量和压力将迅速下降.为微机电系统提供可靠的驱动元件.

详情信息展示

王瑞金¹，楼少敏¹

(1.浙江科技学院机械工程系,杭州,310012)

摘要:利用外磁场及其运动控制微机电系统中的磁流体的运动,成功地设计了磁流体微泵,试验表明:磁流体微泵的输出压力最高达到1180 Pa,输出流量最大可达50μl/min,磁场转速和输出压力、输出流量的在低转速时几乎线性关系,但超过一定的转速,输出流量和压力将迅速下降.为微机电系统提供可靠的驱动元件.

关键词:微机电系统; 磁流体; 微泵; 旋转磁场;

【全文内容正在添加中】