晶硅和蓝宝石加工用金刚石工具
来源期刊：超硬材料工程2018年第6期
论文作者：徐良 刘一波 徐强
文章页码：47 - 51
关键词：单晶硅;多晶硅;蓝宝石;金刚石线锯;砂轮;
摘 要：文章综述了金刚石工具向光伏、LED和半导体等新兴领域的发展,指出了金刚石工具越来越精细化的趋势;介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石加工过程中用到的金刚石工具,其中对金刚石线锯、高精密金刚石砂轮、金刚石超薄划片、高精度套料钻头和CMP修整器在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述。
徐良，刘一波，徐强
北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司
摘 要：文章综述了金刚石工具向光伏、LED和半导体等新兴领域的发展,指出了金刚石工具越来越精细化的趋势;介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石加工过程中用到的金刚石工具,其中对金刚石线锯、高精密金刚石砂轮、金刚石超薄划片、高精度套料钻头和CMP修整器在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述。
关键词：单晶硅;多晶硅;蓝宝石;金刚石线锯;砂轮;
