多晶硅生产中废气处理工艺设计
来源期刊：轻金属2013年第4期
论文作者：许红霞
文章页码：71 - 73
关键词：多晶硅;废气;处理;工艺设计;
摘 要：多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料,随着我国太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增。介绍了多晶硅的用途、分类,生产工艺进展,改良西门子法的工艺过程,分析了多数企业在多晶硅生产过程中废气和残液的处理过程及缺点,指出了一种废气处理的新工艺。
许红霞
乌海职业技术学院
摘 要：多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料,随着我国太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增。介绍了多晶硅的用途、分类,生产工艺进展,改良西门子法的工艺过程,分析了多数企业在多晶硅生产过程中废气和残液的处理过程及缺点,指出了一种废气处理的新工艺。
关键词：多晶硅;废气;处理;工艺设计;
