电弧离子镀沉积Al-O-N高温扩散阻挡层的研究
来源期刊：钢铁研究学报2003年增刊第1期
论文作者：黄荣芳 孙超 武颖娜 王启民 闻立时 柯培玲
关键词：Al-O-N; 扩散阻挡层; 电弧离子镀;
摘 要：采用电弧离子镀技术在DSM11合金与NiCoCeAlY涂层间沉积Al-O-N高温扩散阻挡层薄膜,研究了不同O2、N2流量对Al-O-N薄膜相结构的影响及高温下Al-O-N薄膜阻挡合金元素互扩散的行为.实验结果表明,电弧离子镀法沉积的Al-O-N薄膜为多晶膜,具有α-Al2O3+六方AlN的相结构,随着N2的增加,AlN相的含量增加.在1050℃下氧化100h后,Al-O-N层能有效阻挡DSM11合金中的Ti元素向外扩散,扩散阻挡层对涂层的氧化动力学影响不大.
黄荣芳1，孙超1，武颖娜1，王启民1，闻立时1，柯培玲1
(1.中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护国家重点实验室,辽宁,沈阳,110016)
摘要:采用电弧离子镀技术在DSM11合金与NiCoCeAlY涂层间沉积Al-O-N高温扩散阻挡层薄膜,研究了不同O2、N2流量对Al-O-N薄膜相结构的影响及高温下Al-O-N薄膜阻挡合金元素互扩散的行为.实验结果表明,电弧离子镀法沉积的Al-O-N薄膜为多晶膜,具有α-Al2O3+六方AlN的相结构,随着N2的增加,AlN相的含量增加.在1050℃下氧化100h后,Al-O-N层能有效阻挡DSM11合金中的Ti元素向外扩散,扩散阻挡层对涂层的氧化动力学影响不大.
关键词:Al-O-N; 扩散阻挡层; 电弧离子镀;
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