ZnO气敏薄膜的实用化——一种新的气敏基材料
来源期刊：功能材料与器件学报2007年第6期
论文作者：裘南畹 徐勇 邢建平 黄少艳 李长庆
关键词：ZnO薄膜; 粉末溅射; 双点焊;
摘 要：ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现.最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al2O3)和适当选择溅射参数得到掺杂稳定,结构稳定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件.通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件,并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器.
裘南畹1，徐勇2，邢建平3，黄少艳3，李长庆3
(1.山东大学纳米薄膜电子功能材料实验室,山东,250100;
2.山东大学水电中心,山东,250100;
3.山东大学信息科学与工程学院,山东,250100)
摘要:ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现.最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al2O3)和适当选择溅射参数得到掺杂稳定,结构稳定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件.通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件,并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器.
关键词:ZnO薄膜; 粉末溅射; 双点焊;
【全文内容正在添加中】
