纳米结构Pt/WO3薄膜的制备、表征及氢敏性能
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第1期
论文作者：范小花 侯长军 霍丹群 唐一科
关键词：Pt/WO3纳米薄膜; 氢敏性能; 溶胶一凝胶法; 掺杂;
摘 要：以钨粉和双氧水为主要原料,采用溶胶 - 凝胶法制备了WO3纳米薄膜,并用磁控溅射法在该WO3薄膜表面溅射掺杂了催化剂Pt.研究了该Pt/WO3纳米薄膜的结构和氢敏性能,结果表明,用此种方法制备的WO3基掺Pt薄膜具有良好的氢敏特性;平均膜厚160nm;薄膜经400℃以下退火处理后是非晶态结构,表面疏松多孔,氢敏效果好;经400℃以上退火处理后呈晶态结构,表面粗糙致密,氢敏效果差;Pt掺杂量对薄膜的氢敏效果有影响,掺杂量越多,氢敏效果越差.
范小花1，侯长军2，霍丹群3，唐一科4
(1.重庆科技学院安全工程学院,重庆,400042;
2.重庆大学化学化工学院/光电技术及系统教育部重点实验室,重庆,400030;
3.重庆大学生物工程学院,重庆,400030;
4.重庆大学机械传动国家重点实验室,重庆,400030)
摘要:以钨粉和双氧水为主要原料,采用溶胶 - 凝胶法制备了WO3纳米薄膜,并用磁控溅射法在该WO3薄膜表面溅射掺杂了催化剂Pt.研究了该Pt/WO3纳米薄膜的结构和氢敏性能,结果表明,用此种方法制备的WO3基掺Pt薄膜具有良好的氢敏特性;平均膜厚160nm;薄膜经400℃以下退火处理后是非晶态结构,表面疏松多孔,氢敏效果好;经400℃以上退火处理后呈晶态结构,表面粗糙致密,氢敏效果差;Pt掺杂量对薄膜的氢敏效果有影响,掺杂量越多,氢敏效果越差.
关键词:Pt/WO3纳米薄膜; 氢敏性能; 溶胶一凝胶法; 掺杂;
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