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AlN陶瓷氧化行为的研究

来源期刊:无机材料学报2003年第2期

论文作者:严伟林 庄汉锐 徐素英 李文兰 许昕睿

关键词:AlN陶瓷; 氧化行为; 线性规律; 抛物线性规律;

摘    要:探索了AlN陶瓷在不同烧结气氛、湿气及不同温度下的氧化行为和机理.结果表明:湿气的存在显著地影响了AlN陶瓷的氧化行为,1225℃,AlN陶瓷在湿氮气、湿氮气:氧气=10:1及湿空气条件下的氧化遵循抛物线性规律,而干空气条件下遵循线性规律;空气中氧化时,AlN陶瓷的氧化曲线在1100~1300℃表现为线性,当温度超过1300℃时,氧化曲线表现出抛物线性的规律,其线性氧化过程的反应活化能为233kJ/mol.

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AlN陶瓷氧化行为的研究

严伟林1,庄汉锐1,徐素英1,李文兰1,许昕睿1

(1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050)

摘要:探索了AlN陶瓷在不同烧结气氛、湿气及不同温度下的氧化行为和机理.结果表明:湿气的存在显著地影响了AlN陶瓷的氧化行为,1225℃,AlN陶瓷在湿氮气、湿氮气:氧气=10:1及湿空气条件下的氧化遵循抛物线性规律,而干空气条件下遵循线性规律;空气中氧化时,AlN陶瓷的氧化曲线在1100~1300℃表现为线性,当温度超过1300℃时,氧化曲线表现出抛物线性的规律,其线性氧化过程的反应活化能为233kJ/mol.

关键词:AlN陶瓷; 氧化行为; 线性规律; 抛物线性规律;

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