键合参数对Ag-5Au键合合金线无空气焊球及键合强度影响研究

来源期刊：功能材料2020年第10期

论文作者：曹军 徐旭 张俊超 宋克兴 周延军 花涵

文章页码：10168 - 10172

关键词：Ag-5Au键合合金线;烧球参数;超声功率;键合压力;键合强度;

摘    要：利用自动焊线机、推拉力测试仪、扫描电镜等研究了烧球电流、烧球时间、超声功率和键合压力对Ag-5Au键合合金线FAB（Free Air Ball）特性及键合强度的影响。研究结果表明当烧球时间为750μs,烧球电流为2 600 mA时FAB球形成椭圆形,烧球电流为2 800 mA时FAB出现高尔夫球;烧球电流为2 700 mA,烧球时间为700μs时FAB偏小,烧球时间为800μs时FAB偏大;当烧球时间为750μs烧球电流为2 700 mA时FAB形貌良好。当超声功率为85 mW键合压力为65 g时造成焊盘的损坏;超声功率为50 mW键合压力为35 g时出现假焊;超声功率为60 mW键合压力为45 g时键合强度良好。