PZT压电薄膜无阀微泵
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第4期
论文作者：杜立群 吕岩 高晓光
关键词：微泵; PZT压电薄膜; MFX-ANSYS/CFX; 流固耦合;
摘 要：介绍了一种基于PZT压电薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件、聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.本文在对微豕制备工艺研究的基础上,对其性能进行了数值和实验研究.建立了基于扩张管/收缩管理论的无阀微泵的有限元模型.利用MFX-AN-SYS/CFX技术实现了对微泵的双向流固耦合分析.对微泵的锥形角、最小宽度、扩散管长度、泵腔高度进行数值计算,得到了优化参数.数值计算的结果与实际测量的数据进行了比较,验证了仿真的正确性.
杜立群1，吕岩2，高晓光1
(1.大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116023;
2.大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连,116023)
摘要:介绍了一种基于PZT压电薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件、聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.本文在对微豕制备工艺研究的基础上,对其性能进行了数值和实验研究.建立了基于扩张管/收缩管理论的无阀微泵的有限元模型.利用MFX-AN-SYS/CFX技术实现了对微泵的双向流固耦合分析.对微泵的锥形角、最小宽度、扩散管长度、泵腔高度进行数值计算,得到了优化参数.数值计算的结果与实际测量的数据进行了比较,验证了仿真的正确性.
关键词:微泵; PZT压电薄膜; MFX-ANSYS/CFX; 流固耦合;
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