基于Halcon的IC测试探针表面质量的机器视觉检测系统

徐鹏¹，黄志红²，刘飞飞¹，罗贤平³

1. 江西理工大学电气工程与自动化学院2. 江西理工大学期刊社3. 江西理工大学机电工程学院

摘 要：IC测试是集成电路生产中的重要工序,探针表面诸如划痕、凹坑等缺陷对性能测试结果影响大.文章研究了IC探针表面质量的机器视觉检测方法,讨论了灰度变换、均值滤波、区域连通、图像分割等缺陷图像处理和形状识别方法,建立了相应的探针表面质量检测系统,并基于机器视觉软件Halcon开发了探针表面质量检测系统软件.实验表明:开发的检测系统可对直径0.3~0.6 mm的IC测试探针表面质量进行快速检测评估,且系统的稳定性好、检测精度高,能有效缩短检测时间和减少检测成本.

关键词：IC测试探针;表面质量检测;机器视觉;Halcon软件;