升温速率对烧结ITO靶材密度和组织的影响
来源期刊:稀有金属材料与工程2013年第4期
论文作者:程念 刘家祥
文章页码:857 - 860
关键词:ITO靶材;升温速率;烧结法;相对密度;微观结构;
摘 要:采用化学共沉淀法制备ITO粉体前驱物,在600℃煅烧粉体前驱物4h,得到粒径为20~30nm的ITO粉体。添加1%的聚乙烯醇(PVA)造粒,模压成型制备ITO靶材素坯,设置不同的升温速率,在1550℃氧气氛下烧结素坯,得到ITO靶材。研究了烧结过程升温速率对ITO靶材密度和微观组织的影响。结果表明,在低温阶段(0~500℃)升温速率为3℃/min,高温阶段(500~1550℃)升温速率为8℃/min时,ITO靶材相对密度为99.58%,孔洞极少,近乎完全致密,且靶材宏观上无裂纹。
程念,刘家祥
北京化工大学
摘 要:采用化学共沉淀法制备ITO粉体前驱物,在600℃煅烧粉体前驱物4h,得到粒径为20~30nm的ITO粉体。添加1%的聚乙烯醇(PVA)造粒,模压成型制备ITO靶材素坯,设置不同的升温速率,在1550℃氧气氛下烧结素坯,得到ITO靶材。研究了烧结过程升温速率对ITO靶材密度和微观组织的影响。结果表明,在低温阶段(0~500℃)升温速率为3℃/min,高温阶段(500~1550℃)升温速率为8℃/min时,ITO靶材相对密度为99.58%,孔洞极少,近乎完全致密,且靶材宏观上无裂纹。
关键词:ITO靶材;升温速率;烧结法;相对密度;微观结构;