非线性晶体KBe₂BO₃F₂的深紫外输出特性

来源期刊：兵器材料科学与工程2010年第4期

论文作者：宋春荣 赵建君 刘进

文章页码：11 - 15

关键词：非线性光学晶体;深紫外;KBBF;倍频;

摘    要：深紫外(DUV)相干光源对于光刻技术、激光微加工、激光光谱仪等均具有重要的意义。KBe2BO3F2(KBBF)晶体是目前唯一可直接倍频产生深紫外激光的非线性光学晶体。通过数值计算,详细分析KBBF晶体的深紫外输出特性,包括KBBF晶体的折射率、相位匹配角、有效非线性系数、光波走离角、允许参量和转换效率等。结果对于KBBF晶体用于产生深紫外全固态激光(DPL)的实验研究提供重要的理论依据。