PCVD制备Ti1-xAlxN硬质薄膜的结构与硬度
来源期刊：金属学报2004年第6期
论文作者：徐可为 介万奇 马胜利 徐健
关键词：(Ti; Al)N硬质薄膜; 微观结构; 硬度; 热稳定性;
摘 要：用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了Ti1-xAlxN硬质薄膜;考察了Al含量x及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响.结果表明,制备的Ti1-xAlxN薄膜由3-10 nm晶粒组成.随Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超过0.83时,硬度开始急剧下降;结构分析证实x小于0.83,Ti1-xAlxN薄膜是固溶强化;x=0.83,薄膜中出现六方氮化铝相(h-AlN).热稳定性实验表明,Ti1-xAlxN薄膜的纳米结构和硬度在N2环境下可以维持到900℃.
徐可为1，介万奇2，马胜利3，徐健4
(1.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049;
2.西北工业大学凝固技术国家重点实验室,西安,710072;
3.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安 710049;
4.Institute for Chemistry of Inorganic Materials,Technical University Munich, Lichtenbergst.4,D-85747 Garching,Munich,Germany)
摘要:用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了Ti1-xAlxN硬质薄膜;考察了Al含量x及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响.结果表明,制备的Ti1-xAlxN薄膜由3-10 nm晶粒组成.随Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超过0.83时,硬度开始急剧下降;结构分析证实x小于0.83,Ti1-xAlxN薄膜是固溶强化;x=0.83,薄膜中出现六方氮化铝相(h-AlN).热稳定性实验表明,Ti1-xAlxN薄膜的纳米结构和硬度在N2环境下可以维持到900℃.
关键词:(Ti; Al)N硬质薄膜; 微观结构; 硬度; 热稳定性;
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