化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移方法及转移用支撑材料的研究进展
来源期刊：机械工程材料2015年第11期
论文作者：蔡伟 王聪 方小红 陈小源 杨立友
文章页码：7 - 13
关键词：石墨烯;化学气相沉积;支撑材料;转移技术;
摘 要：根据化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移过程中支撑物的不同,将转移方法分为聚合物支撑法、非聚合物支撑法以及无支撑法,重点对聚合物支撑法用支撑材料进行了分析,并对相关的转移技术进行较完整的总结,并指出了未来的研究方向。
蔡伟1,2，王聪1，方小红1，陈小源1，杨立友1
1. 中国科学院上海高等研究院薄膜光电工程技术研究中心2. 中国科学院大学
摘 要：根据化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移过程中支撑物的不同,将转移方法分为聚合物支撑法、非聚合物支撑法以及无支撑法,重点对聚合物支撑法用支撑材料进行了分析,并对相关的转移技术进行较完整的总结,并指出了未来的研究方向。
关键词：石墨烯;化学气相沉积;支撑材料;转移技术;
