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放电等离子烧结法制备ITO靶材

来源期刊:稀有金属材料与工程2009年增刊第2期

论文作者:贾铁昆 王为民 郭伟 马秀华

关键词:ITO靶材; 放电等离子烧结; 相对密度; ITO targets; spark plasma sintering; relative density;

摘    要:采用单相的ITO复合粉末经放电等离子烧结法(SPS)快速制备了ITO靶材.研究了SPS的主要工艺参数对ITO靶材致密化的影响.结果表明:靶材的相对密度随着烧结温度的升高而增大,在1000 ℃时达到最大值;在1000 ℃下烧结,延长保温时间使相对密度降低;在较低的温度下烧结时,延长保温时间有利于提高靶材的致密度;相对密度随着烧结压力的增加而增大;升温速率过快不利于靶材的致密化.对烧结试样的相组成和化学成分研究表明:不同温度下制备的ITO靶材均有少量的SnO_2相析出,并有不同程度的失氧,铟锡的质量分数略大于ITO原粉中铟锡的质量分数.

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放电等离子烧结法制备ITO靶材

贾铁昆1,王为民1,郭伟1,马秀华1

(1.武汉理工大学,材料复合新技术国家重点实验室,湖北,武汉,430070)

摘要:采用单相的ITO复合粉末经放电等离子烧结法(SPS)快速制备了ITO靶材.研究了SPS的主要工艺参数对ITO靶材致密化的影响.结果表明:靶材的相对密度随着烧结温度的升高而增大,在1000 ℃时达到最大值;在1000 ℃下烧结,延长保温时间使相对密度降低;在较低的温度下烧结时,延长保温时间有利于提高靶材的致密度;相对密度随着烧结压力的增加而增大;升温速率过快不利于靶材的致密化.对烧结试样的相组成和化学成分研究表明:不同温度下制备的ITO靶材均有少量的SnO_2相析出,并有不同程度的失氧,铟锡的质量分数略大于ITO原粉中铟锡的质量分数.

关键词:ITO靶材; 放电等离子烧结; 相对密度; ITO targets; spark plasma sintering; relative density;

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