简介概要

硅材料的进展

来源期刊：中国有色冶金1982年第5期

论文作者：寿永华

文章页码：37 - 42

摘要：<正> 日本自1960—1961年硅晶体的生产开始工业化以来,20年间硅晶体技术取得的进步由表1可见其梗概。在这20年里,硅晶体生长和加工技术随着半导体器件技术的进步而发展,以不断适应半导体器件的新要求。

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寿永华

摘要：<正> 日本自1960—1961年硅晶体的生产开始工业化以来,20年间硅晶体技术取得的进步由表1可见其梗概。在这20年里,硅晶体生长和加工技术随着半导体器件技术的进步而发展,以不断适应半导体器件的新要求。

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