不同氮含量BCN薄膜的微观结构与摩擦学行为

来源期刊：稀有金属材料与工程2014年第8期

论文作者：陈向阳 张瑾 马胜利 胡海霞

文章页码：1886 - 1889

关键词：AEMS;BCN薄膜;微观结构;硬度;摩擦系数;

摘    要：用电弧增强反应磁控溅射方法（AEMS）在高速钢（W18Cr4V）基体上制备出具有耐磨减摩性能的BCN薄膜。用X射线衍射仪（XRD）、高分辨透射电镜（HRTEM）和X射线光电子能谱（XPS）研究了氮含量对薄膜微观结构的影响;用显微硬度计和销盘式摩擦磨损仪研究了薄膜硬度和摩擦学行为。结果表明:用AEMS方法制备的BCN薄膜为非晶结构,薄膜中的B-N键的含量随氮含量增加而增加;薄膜中氮含量的增加使薄膜的硬度和摩擦系数升高,磨损率降低。