剧烈-温和阳极氧化结合法快速制备有序阳极氧化铝膜的研究

郝爱文^1,2，黄丽清¹，程龙¹，李新¹，张薇薇¹，单冬至¹，冯雪红¹

1. 西安交通大学理学院,物质非平衡合成与调控教育部重点实验室2. 中国洛阳电子装备试验中心

摘 要：本研究采用剧烈–温和阳极氧化（hard anodization-mild anodization,HA-MA）结合快速制备高度有序多孔阳极氧化铝（porous anodic alumina,PAA）膜的方法,即先利用HA在铝表面快速形成有序凹坑阵列,然后再对表面留有有序凹坑的铝基进行温和阳极氧化,制备出有序PAA膜。研究了剧烈阳极氧化时氧化电压、氧化时间对所制备PAA膜有序度的影响。研究结果表明,HA-MA结合法制备PAA膜的优化HA参数为:0.3 mol/L硫酸、80 V、10 min。HA-MA结合法所制备PAA膜的有序性和机械稳定性与二步温和阳极氧化法的相近,但形成有序PAA膜所需的时间为4.5 h,约为温和阳极氧化法的1/4,极大地提高了高度有序PAA膜的制备效率。

关键词：多孔阳极氧化铝;温和阳极氧化法;剧烈阳极氧化法;剧烈–温和阳极氧化结合法;