巨磁电阻自旋阀多层膜的结构和磁性

来源期刊：工程科学学报1997年第2期

论文作者：孟宪梅 柴春林 朱逢吾 林岚 姜宏伟 赖武彦

文章页码：209 - 212

关键词：巨磁电阻;自旋阀;磁功能材料;多层膜;

摘    要：用磁控溅射镀膜方法，制成了巨磁电阻自族间多层膜Ta／NiFe／Cu／NiFe／FeMn／Ta.它具有优良的特性.其室温磁电阻比率MR＞2％，自由层矫顽力Hc1＜160A／m，自由层零磁场漂Hf＜800A／m和钉扎层交换场Hex≈20×103A／m.作为新型磁功能材料，它满足高灵敏磁性传感器和硬盘读出头的要求.对多层膜制备的方法也作了系统研究，并讨论了缓冲层和钉扎层的制备工艺和微结构对磁性能的影响.