退火工艺对溶胶凝胶Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜残余应力的影响
来源期刊：功能材料2007年第8期
论文作者：费维栋 李伟力 蒋建清 杨帆 高忠民
关键词：溶胶凝胶法; X射线衍射; 残余应力; 退火;
摘 要：使用溶胶凝胶法制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 铁电薄膜,分别利用原子力显微镜、X射线衍射及面探扫描技术分析了薄膜的组织结构,并运用掠入射X射线衍射法研究了不同工艺条件下制备的薄膜的残余应力.研究表明溶胶凝胶薄膜在600℃退火30min后完全晶化,组织结构均匀.不同工艺下制备的薄膜均受残余拉应力,随着退火温度及退火时间的延长,薄膜中的残余应力逐渐增大,而随着薄膜厚度的增加,残余应力先增大然后减小.
费维栋1，李伟力1，蒋建清2，杨帆2，高忠民3
(1.哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001;
2.东南大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,211189;
3.吉林大学,化学学院,吉林,长春,130012)
摘要:使用溶胶凝胶法制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 铁电薄膜,分别利用原子力显微镜、X射线衍射及面探扫描技术分析了薄膜的组织结构,并运用掠入射X射线衍射法研究了不同工艺条件下制备的薄膜的残余应力.研究表明溶胶凝胶薄膜在600℃退火30min后完全晶化,组织结构均匀.不同工艺下制备的薄膜均受残余拉应力,随着退火温度及退火时间的延长,薄膜中的残余应力逐渐增大,而随着薄膜厚度的增加,残余应力先增大然后减小.
关键词:溶胶凝胶法; X射线衍射; 残余应力; 退火;
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