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薄膜材料X射线衍射物相分析与内应力测定

来源期刊：理化检验物理分册2002年第11期

论文作者：姜传海徐祖耀陈世朴

关键词：二维X射线衍射; 薄膜; 物相深度分析; 内应力;

摘要：基于不对称布拉格反射理论,介绍了薄膜材料二维X射线衍射分析方法,并对铝合金表面的TiN薄膜进行了分层掠射分析,证实了该分析方法的可行性.结合掠射、侧倾、内标及交相关函数定峰等技术,改进了常规X射线应力测量方法,测量了上述薄膜中的内应力,表明可显著提高内应力测量精度.

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姜传海¹，徐祖耀¹，陈世朴¹

(1.上海交通大学材料科学与工程学院,上海,200030)

摘要:基于不对称布拉格反射理论,介绍了薄膜材料二维X射线衍射分析方法,并对铝合金表面的TiN薄膜进行了分层掠射分析,证实了该分析方法的可行性.结合掠射、侧倾、内标及交相关函数定峰等技术,改进了常规X射线应力测量方法,测量了上述薄膜中的内应力,表明可显著提高内应力测量精度.

关键词:二维X射线衍射; 薄膜; 物相深度分析; 内应力;

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