CVD金刚石膜/硅为基板的微条气体室性能研究
来源期刊：功能材料与器件学报2005年第2期
论文作者：夏义本 王林军 杨莹 顾蓓蓓 张明龙 汪琳
关键词：微条气体室; 气体探测器; CVD金刚石膜; X射线;
摘 要：提出了一种新型的CVD金刚石膜/硅(p～1010Ω·cm)为基板的微条气体室,阳极宽度7μm,阴极100 μm,间距200 μm.室温下,充以1.01×10-5Pa Ar+CH4混合气体时,采用5.9 keV 55FeX射线测量了探测器在不同高压和气体比例时的脉冲高度分布,详细讨论了高压和气体比例对能量分辨率的影响,结果表明该探测器具有较高的信噪比和能量分辨率.在Ar+10%CH4混合气体、-1100 V漂移电压和-650 V阴极电压工作条件下,微条气体室能量分辨率可达12.2%.
夏义本1，王林军1，杨莹1，顾蓓蓓1，张明龙1，汪琳1
(1.上海大学材料科学与工程学院,上海,200072)
摘要:提出了一种新型的CVD金刚石膜/硅(p～1010Ω·cm)为基板的微条气体室,阳极宽度7μm,阴极100 μm,间距200 μm.室温下,充以1.01×10-5Pa Ar+CH4混合气体时,采用5.9 keV 55FeX射线测量了探测器在不同高压和气体比例时的脉冲高度分布,详细讨论了高压和气体比例对能量分辨率的影响,结果表明该探测器具有较高的信噪比和能量分辨率.在Ar+10%CH4混合气体、-1100 V漂移电压和-650 V阴极电压工作条件下,微条气体室能量分辨率可达12.2%.
关键词:微条气体室; 气体探测器; CVD金刚石膜; X射线;
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