冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证

来源期刊：宇航材料工艺2019年第4期

论文作者：朱徐立 徐隆 吴虹琼

文章页码：23 - 27

关键词：多晶硅;冶金法;退火;建模;试验;

摘    要：冶金法制备多晶硅过程中,通过对不同退火温控方案进行数学建模,探求优化的退火理论温度控制函数与曲线。数学模型表明,对硅铸锭直接进行保温,依靠自然热平衡退火,会使内部应力大于产生位错的临界应力;采用加热元件对硅铸锭适当加热保温可减缓降温速率。通过比较,选择较低的退火温度1 236℃和较短的退火时间8.52 ks作为试验退火温控方案。试验验证表明,该退火方案得到的多晶硅铸锭目视裂纹较少,少数载流子寿命与电阻率具有明显优势。