简介概要

Au/NiCr/Ta多层金属膜的表面粗糙度和纳米压入硬度的研究

来源期刊：金属学报2002年第5期

论文作者：徐可为唐武王平李弦

关键词：Au/NiCr/Ta多层膜; 表面粗糙度; 纳米压入;

摘要：采用磁控溅射方法在Si-(111)基片上沉积 Au/NiCr/Ta多层金属膜利用XRD分析晶体取向,SEM观察表面和断面形貌,AFM研究表面粗糙度,纳米压入研究薄膜硬度.结果表明薄膜表面粗糙度依赖于基体沉积温度,并且影响薄膜电阻和纳米硬度.

详情信息展示

徐可为¹，唐武¹，王平²，李弦²

(1.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049;
2.西安空间无线电技术研究所,西安,710000)

摘要:采用磁控溅射方法在Si-(111)基片上沉积 Au/NiCr/Ta多层金属膜利用XRD分析晶体取向,SEM观察表面和断面形貌,AFM研究表面粗糙度,纳米压入研究薄膜硬度.结果表明薄膜表面粗糙度依赖于基体沉积温度,并且影响薄膜电阻和纳米硬度.

关键词:Au/NiCr/Ta多层膜; 表面粗糙度; 纳米压入;

【全文内容正在添加中】