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溶胶-凝胶法薄膜制备工艺及其应用

来源期刊：昆明理工大学学报(自然科学版)1997年第1期

论文作者：甘国友郭玉忠苏云生

关键词：溶胶－凝胶;薄膜;工艺;应用;

摘要：简要评述了近年来溶胶－凝胶薄膜制备工艺的最新进展及其应用．与传统的薄膜制备工艺相比，溶胶－凝胶薄膜制备工艺过程温度低、设备简单、易于应用推广，可以在各种形状的基体上制得多元氧化物等优点，溶胶－凝胶薄膜制备工艺已在电子、光学、磁学、化学等各个领域得到广泛应用．

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甘国友，郭玉忠，苏云生

关键词：溶胶－凝胶;薄膜;工艺;应用;