Mo中间层对防止Al2O3/Kovar钎焊接头裂纹的作用
来源期刊：稀有金属材料与工程2008年第12期
论文作者：杨沛 李瑞峰 祁凯 于治水
关键词：Al2O3; Kovar; 磁控溅射; Mo; Al2O3; Kovar; magnetron sputtering; Mo;
摘 要：为避免A12O3陶瓷/Kovar接头裂纹的产生,在Kovar表面磁控溅射金属Mo,并使用Ti-Cu-Ni活性钎料进行钎焊试验.通过扫描电镜和能谱对界面微观组织和成分进行了分析.结果表明,当溅射钼中间层的厚度为14.2μm时,在A12O3/Kovar界面处,Mo中间层可阻碍Kovar中Fe元素与钎料中Ti元素相互反应产生脆性FexTiy金属间化合物,防止了界面处裂纹的生成.
杨沛1，李瑞峰1，祁凯1，于治水1
(1.上海工程技术大学,上海,200336)
摘要:为避免A12O3陶瓷/Kovar接头裂纹的产生,在Kovar表面磁控溅射金属Mo,并使用Ti-Cu-Ni活性钎料进行钎焊试验.通过扫描电镜和能谱对界面微观组织和成分进行了分析.结果表明,当溅射钼中间层的厚度为14.2μm时,在A12O3/Kovar界面处,Mo中间层可阻碍Kovar中Fe元素与钎料中Ti元素相互反应产生脆性FexTiy金属间化合物,防止了界面处裂纹的生成.
关键词:Al2O3; Kovar; 磁控溅射; Mo; Al2O3; Kovar; magnetron sputtering; Mo;
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