应用纳米压痕法测量电沉积镍镀层残余应力的研究
来源期刊：材料导报2008年第2期
论文作者：周益春 章莎
关键词：纳米压痕法; 电沉积镍镀层; 残余应力; X射线衍射法;
摘 要：应用纳米压痕法测量残余应力的2种理论模型对5种电沉积镍镀层中的残余应力在不同压痕深度处进行了测量,并与X射线衍射法的测量结果进行了比较.结果表明,压深位于薄膜/基底界面处的2种压痕法测量结果与X射线衍射法的测量结果相近,且Yun-Hee模型与其符合得更好.
周益春1，章莎1
(1.先进材料及其流变特性教育部重点实验室,湘潭,411105;
2.湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭,411105)
摘要:应用纳米压痕法测量残余应力的2种理论模型对5种电沉积镍镀层中的残余应力在不同压痕深度处进行了测量,并与X射线衍射法的测量结果进行了比较.结果表明,压深位于薄膜/基底界面处的2种压痕法测量结果与X射线衍射法的测量结果相近,且Yun-Hee模型与其符合得更好.
关键词:纳米压痕法; 电沉积镍镀层; 残余应力; X射线衍射法;
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