简介概要

CVD金刚石膜中的缺陷

来源期刊：工程科学学报2002年第4期

论文作者：张恒大刘敬明宋建华吕反修唐伟忠

文章页码：426 - 428

关键词：金刚石膜;缺陷;成因;等离子体喷射;

摘要：研究了利用直流电弧等离子体喷射（DC Arc Plasma Jet）的制备的大面积金刚石膜中的缺陷问题.研究表明:金刚石膜中的缺陷包括表面缺陷、晶内缺陷和晶界缺陷,以及由于内应力产生的金刚石膜宏观和微观裂纹.金刚石膜中的缺陷与制备工艺参数有着密切关系.

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张恒大，刘敬明，宋建华，吕反修，唐伟忠

关键词：金刚石膜;缺陷;成因;等离子体喷射;