一种微构件的多物理场耦合求解方法
来源期刊：机械设计与制造2006年第2期
论文作者：张凯 彭云峰
文章页码：1 - 3
关键词：微结构;多物理场耦合;解耦;
摘 要：这里针对微机械电子系统中存在的多物理场耦合现象,提出一种微结构的多物理场耦合求解方法。该方法首先将微机械电子系统分解为机械场(实体微结构模型)和多个单物理场的组合;然后,对各物理场与实体微结构模型的控制方程采用有限元/边界元离散为线性方程组,最后利用迭代法求解。为证明方法的可行性,这里对微加速度传感器中的微悬臂梁结构进行多物理场解耦分析。解耦分析的结果表明,该方法是合理可行的。
张凯，彭云峰
摘 要：这里针对微机械电子系统中存在的多物理场耦合现象,提出一种微结构的多物理场耦合求解方法。该方法首先将微机械电子系统分解为机械场(实体微结构模型)和多个单物理场的组合;然后,对各物理场与实体微结构模型的控制方程采用有限元/边界元离散为线性方程组,最后利用迭代法求解。为证明方法的可行性,这里对微加速度传感器中的微悬臂梁结构进行多物理场解耦分析。解耦分析的结果表明,该方法是合理可行的。
关键词：微结构;多物理场耦合;解耦;
