热CVD制备定向竹节型碳纳米管生长机制分析

来源期刊：材料热处理学报2015年第6期

论文作者：李刚 余宗胜 徐先锋

文章页码：1 - 4

关键词：热化学气相沉积;碳纳米管;生长机制;竹节型;

摘    要：用热化学气相沉积(CVD)技术,用乙炔为碳源,氮气为载气,氢气为还原气体,氨气为刻蚀气体,在单晶硅上制备出定向竹节型结构碳纳米管薄膜。用透射电镜(TEM),扫描电镜(SEM)的X衍射能量色散能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析碳纳米管的精细结构,成分和晶型及结晶度,并对制备的碳纳米管的生长机制进行分析和推测。结果表明:在生长碳纳米管的过程中起催化作用的是金属镍颗粒而不是碳化镍,催化剂颗粒呈不同的形貌存在碳纳米管顶部,并遵循顶端生长方式。