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碳化硅表面改性和光学镜面加工的研究现状

来源期刊：无机材料学报2007年第5期

论文作者：黄政仁江东亮刘学建董绍明刘桂玲

关键词：碳化硅; 表面改性; 光学镜面加工;

摘要：为了获得满足光学应用要求的碳化硅光学镜面,通常采取碳化硅表面改性和改进光学镜面加工的方法.碳化硅表面改性的主要方式是在碳化硅表面镀致密化涂层.本文介绍了在碳化硅表面化学气相沉积碳化硅和物理气相沉积硅两种碳化硅表面改性技术,并对碳化硅光学镜面加工的研究现状进行了综述.

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黄政仁¹，江东亮¹，刘学建¹，董绍明¹，刘桂玲¹

(1.中国科学院,上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程中心,上海,200050;
2.中国科学院,研究生院,北京,100049)

摘要:为了获得满足光学应用要求的碳化硅光学镜面,通常采取碳化硅表面改性和改进光学镜面加工的方法.碳化硅表面改性的主要方式是在碳化硅表面镀致密化涂层.本文介绍了在碳化硅表面化学气相沉积碳化硅和物理气相沉积硅两种碳化硅表面改性技术,并对碳化硅光学镜面加工的研究现状进行了综述.

关键词:碳化硅; 表面改性; 光学镜面加工;

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