Ti-Cr合金薄膜局域结构的XAFS研究

张延志¹，管卫军¹，郑黎荣²，赖新春¹，汪小琳³

1. 表面物理与化学重点实验室2. 中国科学院高能物理研究所3. 中国工程物理研究院

摘 要：为了研究薄膜厚度对Ti-Cr合金薄膜局域结构的影响,通过磁控溅射沉积技术制备了不同厚度的Ti-Cr合金薄膜试样,合金薄膜中Ti和Cr的含量接近。利用X射线吸收精细结构（XAFS）谱和X射线衍射（XRD）仪研究了Ti-Cr合金薄膜的局域结构状态。X射线吸收近边结构谱（XANES）分析结果显示,元素的吸收边能量E0随薄膜厚度出现有规律的变化。XRD和扩展X射线精细结构吸收谱（EXAFS）结果显示,制备的合金薄膜为长程无序的非晶态,并分析了薄膜厚度对合金薄膜局域结构的影响。

关键词：Ti-Cr合金;XAFS;薄膜;局域结构;非晶;