不同组分PZT压电薄膜的性能
来源期刊：功能材料与器件学报2007年第2期
论文作者：刘梦伟 邵春玉 董维杰 崔岩 王兢
关键词：锆钛酸铅; 溶胶-凝胶; 前烘温度; 薄膜组分; 电滞回线;
摘 要：采用sol-gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了不同条件的锆钛酸铅(PZT)薄膜.分析了不同的前烘温度、不同锆钛比例对PZT薄膜的微观结构和电特性所产生的影响.SEM分析结果显示,铁电薄膜的晶化较完善,薄膜表面均匀致密.用X射线衍射分析了不同条件制备的PZT薄膜,表明薄膜的微观结构和取向不仅对热处理的条件非常敏感,而且也深受薄膜组分的影响.铁电测试表明对PZT(锆/钛=30/70),300℃热处理的薄膜具有最大的自发极化值.而对于不同锆钛比的薄膜,在准同型相界附近的53/47配比的PZT薄膜表现出最好的铁电性、介电性和最高的体电阻率.
刘梦伟1，邵春玉2，董维杰2，崔岩1，王兢2
(1.大连理工大学微系统中心,大连,116023;
2.大连理工大学电子与信息工程学院,大连,116023;
3.辽宁省微纳技术及系统重点实验室,大连理工大学,大连,116023)
摘要:采用sol-gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了不同条件的锆钛酸铅(PZT)薄膜.分析了不同的前烘温度、不同锆钛比例对PZT薄膜的微观结构和电特性所产生的影响.SEM分析结果显示,铁电薄膜的晶化较完善,薄膜表面均匀致密.用X射线衍射分析了不同条件制备的PZT薄膜,表明薄膜的微观结构和取向不仅对热处理的条件非常敏感,而且也深受薄膜组分的影响.铁电测试表明对PZT(锆/钛=30/70),300℃热处理的薄膜具有最大的自发极化值.而对于不同锆钛比的薄膜,在准同型相界附近的53/47配比的PZT薄膜表现出最好的铁电性、介电性和最高的体电阻率.
关键词:锆钛酸铅; 溶胶-凝胶; 前烘温度; 薄膜组分; 电滞回线;
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